1)单一微传感器。它的一个显著特点就是尺寸小（一般敏感元件的尺寸从毫米级到微米级、有的甚至达到纳米级）．在加工中，主要采用精密加工、微电子技术以及MEMS技术，使得传感器的尺寸大大减小。
2)集成微传感器。将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上形成集成的传感器。
3)微传感器系统。包括微传感器、微执行器，可以独立工作。此外，还可以由多个微传感器组成传感器网络或者通过其他网络实现异地联网。
微传感器具有一系列的优点：①体积小，重量轻；②功耗低；③性能好；④易于批量生产，成本低；⑤便于集成化和多功能化；⑥提高智能化水平。
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