国内最大硅烷气项目达产

国内硅烷气项目建设有了新进展。“我们和高校合作研发的年产3000吨硅烷气项目二期工程已于6月25日试车投产，目前运行平稳且达产达标，产品纯度99.999999%，主要经济指标接近或达到国外同类产品指标要求。”7月13日，中国平煤神马集团河南硅烷科技发展股份有限公司发布了这一信息。

该项目的建成达产标志着平煤神马集团高纯度硅烷大规模生产技术获得突破，结束了国内高纯度硅烷产品全部依靠进口的历史，该公司也成为全国唯一一家拥有完全自主知识产权成套工业化硅烷生产技术的企业。

“我们采用硅烷法实现高纯度硅烷气的工业化生产，解决了国外镁硅法、氟硅法等传统硅烷气技术难以大规模生产以及成本高、排放大等难题，生产成本较国际同类产品低30%以上。”硅烷科技公司董事长蔡前进介绍说。

该项目的落地单位、许昌首山化工科技有限公司董事长杨红深表示，年产3000吨硅烷气项目二期工程项目总投资10亿元，项目全部达产后，平煤神马高纯度硅烷年产能达到3600吨，国内市场占有率可达40%左右。

该项目技术由上海交通大学化学化工学院长江学者肖文德教授领衔研发。2009年，肖文德教授以多功能反应器为基础，开创性地提出了基于三氯氢硅的硅烷生产技术。该技术使原本转化率为0.1%的反应可以实现接近100%的转化率，并在实验室获得了99.99%的硅烷产品。2010年12月，平煤神马与上海交通大学签订战略合作协议，共同开发硅烷法多晶硅技术，并在2012年5月组建河南硅烷科技发展股份有限公司，依托许昌首山焦化煤焦循环经济链条研发高纯度硅烷产品。

2014年10月，一期工程年产600吨硅烷气的生产线成功投产，硅烷气纯度达8N级，平煤神马在国内率先拥有成套工业化硅烷生产技术，也成为全球第五家拥有独立知识产权的硅烷生产企业。随后，二期工程年产3000吨硅烷气项目于2016年7月开工建设。

“下一步，我们还将投资50亿元，建设三期工程——年产1.5万吨高纯硅烷气、1500吨电子级多晶硅和1000吨区熔级多晶硅项目，力争到2020年产值规模达到100亿元、利税总额20亿元，成为该领域具有国际影响力的科技创新企业。”杨红深说。

据了解，我国电子和大规模集成电路行业的芯片进口总额去年高达2300亿美元。其中一个重要原因是缺乏高纯度晶体硅材料，而生产高纯晶体硅必须以高纯硅烷为基础。硅烷既可用于制造大规模集成电路芯片，又可用于生产多晶硅，经济效益很高。